Оптимізація лазерної поверхневої обробки напівпровідникових матеріалів з метою зниження енерговитрат
Завантаження...
Дата
2004
Автори
Трофименко, Олена Григорівна
Трофименко, Елена Григорьевна
Trofimenko, Elena G.
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Анотація
Показано, що в умовах розвиненої поверхні напівпровідникових матеріалів теплову
обробку можна проводити скануючим рухом лазерного променя. Запропоновано алгоритм швидкого вибору траєкторії сканування, який забезпечує мінімізацію енерговитрат і часу обробки, одночасно забезпечуючи її повноту.
Показано, что в условиях развитой поверхности полупроводниковых материалов тепловую обработку можно проводить сканирующим движением лазерного луча. Предложен алгоритм быстрого выбора траектории сканирования, который обеспечивает минимизацию энергозатрат и времени обработки, одновременно обеспечивая ее полноту.
It is shown, that in conditions of the semiconductor materials advanced surface thermal processing can be carried by scanning movement of a laser beam. The algorithm of a fast choice of a trajectory of scanning which provides minimization of power inputs and time of processing, providing, at the same time, his completeness is offered.
Показано, что в условиях развитой поверхности полупроводниковых материалов тепловую обработку можно проводить сканирующим движением лазерного луча. Предложен алгоритм быстрого выбора траектории сканирования, который обеспечивает минимизацию энергозатрат и времени обработки, одновременно обеспечивая ее полноту.
It is shown, that in conditions of the semiconductor materials advanced surface thermal processing can be carried by scanning movement of a laser beam. The algorithm of a fast choice of a trajectory of scanning which provides minimization of power inputs and time of processing, providing, at the same time, his completeness is offered.
Бібліографічний опис
Трофименко О. Г. Оптимізація лазерної поверхневої обробки напівпровідникових матеріалів з метою зниження енерговитрат / О. Г. Трофименко // Наукові праці ОНАЗ ім. О. С. Попова – Одеса : ОНАЗ ім. О. С. Попова, 2004. – Вип. 3. – С. 76-79.
Ключові слова
напівпровідникові матеріалів, лазерна поверхнева обробка, лазерний відпал, зниження енерговитрат, технологічний процес, оптимізація, тепловий баланс обробки, полупроводниковые материалы, лазерная поверхностная обработка, лазерный отжиг, снижение энергозатрат, технологический процесс, оптимизация, тепловой баланс обработки, semiconductor materials, laser surface treatment, laser annealing, reduction of power inputs, technological process, optimization, heat treatment balance
Цитування
Трофименко О. Г. Оптимізація лазерної поверхневої обробки напівпровідникових матеріалів з метою зниження енерговитрат / О. Г. Трофименко // Наукові праці ОНАЗ ім. О. С. Попова – Одеса : ОНАЗ ім. О. С. Попова, 2004. – Вип. 3. – С. 76-79.